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订购EUV光刻机受阻? 中芯国际和ASML回应了

针对近几日多家媒体报道的有关ASML公司对中芯国际订购的EUV光刻机设备故意延迟的推想。二家公司今日均颁发内容回应。

ASML回应如下:

关于日经新闻(NIKKEI)昨日报导,其标题和内容出现造成误导,本公司在此提出澄清。

我司纰谬任何客户做comment。对付日经新闻报道的关于交货时程仅为其媒体推想,ASML从未评论或确认,是以,“延迟出货”仅为媒体推想。对其将推想直接定性为事实作为新闻标题并在文中阐述,表示抗议。

ASML一贯在遵守相关国际律例的条件下等量齐不雅地办事举世客户。根据瓦圣纳协议,ASML出口EUV到中国需取得荷兰政府的出口许可(export license)。该出口许可于今年到期,ASML已经于到期前从新进行申请,今朝正在等待荷兰政府核准。是以,关于“ASML抉择延迟/终止出货”的说法是差错的,ASML系遵照律例行事。

中芯国际也表示:

EUV还在纸面事情阶段,未进行相关活动。公司先辈工艺研发进展顺利。今朝,研发与临盆的贯穿毗连统统正常。客户与设备导入正常运作。

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